苏州捷纳特等离子清洗

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 苏州等离子清洗依靠射频电离氩气、氧气、氢气生成等离子体，结合物理离子轰击与化学反应双重作用，纳米级清除工件表面油污、脱模剂、光刻胶残留与金属氧化层。全程低温加工，温度控制在 80℃以内，不会损伤柔性薄膜、塑料、薄晶圆等热敏基材，腔体内部等离子均匀扩散，微孔、深槽、芯片底部等隐蔽位置均可无死角清洁，完美解决传统超声、溶剂清洗无法处理细微缝隙的行业短板。